超高真空极低温4探针扫描探针显微镜系统 USM1400-4P
发布日期: 2020-03-22 浏览次数：
市面上销售的具有最多功能、高性能的多探头SPM系统，是用于纳米技术研究的先进工具。
受JST尖端计量分析技术仪器开发事业的委托，UNISOKU发动全体技术工程师之力开发了世界上第一台先进的多探头显微镜系统。
具有四个独立控制探针的SPM系统，可在极低温条件下较宽温度范围内微/纳米尺度表面进行导电测量和纳米器件评估。
使用独立开发的多功能探头可实现高分辨率、大范围应用测量。
特征
● 使用电子显微镜，可进行纳米尺度的定位。
● 每个探头均具有STM / AFM功能。
● 可在纳米尺度上实现4端子导电测量。
● 装备了MBE用的真空腔。
● 易实现光照射、发光测量、高频信号测量等。
● 接入超导线圈（可选），应用于霍尔效应、自旋测量。
应用
● 导电薄膜的微米或纳米尺度上的4端子电阻率测量。
● 纳米结构、纳米点导电性能测量。
● 有机导电膜、半导体变温条件下的导电性测量。
● 纳米器件的局部电特性分析。
● 变温条件下的STM成像。
● 广泛应用于表面分析。
参数
|
4探针 STM探头
|
|
最大扫描范围 (X×Y×Z)
|
0.38×0.38×0.38µm3 @ 5 K
|
|
最小分辨率 (STM)
|
X, Y: 0.1nm (原子级分辨率) Z: <0.02nm
|
|
样品及探针台
|
最大操纵范围 X, Y: 5mm; Z: 3mm
|
|
FE-SEM
|
|
最小分辨率
|
20nm (当设定加速电压为 25kV, WD 15mm, 探头电流为1nA时)
最大视野 3mm × 3mm (设定加速电压5kV)
|
Sample data
