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IQE 11/35
发布日期: 2020-03-22  浏览次数:  



产品介绍
  钇涂层铱灯丝使其于惰性气体以及反应性气体相使用。为保持压力增加的稳定性,气体通过单独的DN16CF法兰直接送入电离室。通常,在运行期间,特高压室中的压力保持在10-5至10-6毫巴的范围内。
IQE 11/35产生具有高光束分布的10-15μA(氩)离子电流。光束直径和电流密度取决于源到样品的距离,可通过选择标准插入长度(62.5 mm、120 mm、190 mm、250 mm)或自定义长度进行优化。
光源可在250°C以下烘烤,并可通过内部“脱气”进行清洁。

  有两种不同的电源可供使用。模拟PU-IQE-3kv允许在0.2kev和3kev的能量范围内进行简单的手动控制,而数字PU-IQE-5kv也允许在高达5kv的能量范围内进行计算机控制。

主要特点
 ● 适用于活性气体
 ● 优化的高离子束电流可更好的清洁样品
 ● 结构紧凑, 操作方便
 ● 长期稳定运行
 ● 卓越的性价比
 ● 有模拟和数字电源可供选用

技术规格
 ● 离子电流:   最高达到 20μA (氩气)
 ● 离子能量:   20eV-5KeV
 ● 使用气体:   多种
 ● 工作原理:   提取种类
 ● 应用:   清洁样品
     植入

性能
 ● 光斑尺寸:   5mm-30mm 的工作距离

安装
 ● 插入深度:   62.5mm; 120mm; 190mm; 250mm
 ● 安装法兰:   DN35CF (2.75”)

电源
 ● PU-IQE11 digital
 ● IQE 11 A analog

该产品彩页链接
https://www.specs-group.com/fileadmin/user_upload/products/brochures/IQE11_2009.pdf

该产品官网链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/iqe-1135/

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