产品介绍
　　钇涂层铱灯丝使其于惰性气体以及反应性气体相使用。为保持压力增加的稳定性，气体通过单独的DN16CF法兰直接送入电离室。通常，在运行期间，特高压室中的压力保持在10-5至10-6毫巴的范围内。
IQE 11/35产生具有高光束分布的10-15μA（氩）离子电流。光束直径和电流密度取决于源到样品的距离，可通过选择标准插入长度（62.5 mm、120 mm、190 mm、250 mm）或自定义长度进行优化。
光源可在250°C以下烘烤，并可通过内部“脱气”进行清洁。

　　有两种不同的电源可供使用。模拟PU-IQE-3kv允许在0.2kev和3kev的能量范围内进行简单的手动控制，而数字PU-IQE-5kv也允许在高达5kv的能量范围内进行计算机控制。

主要特点
　● 适用于活性气体
　● 优化的高离子束电流可更好的清洁样品
　● 结构紧凑, 操作方便
　● 长期稳定运行
　● 卓越的性价比
　● 有模拟和数字电源可供选用

技术规格
　● 离子电流:   最高达到 20μA (氩气)
　● 离子能量:   20eV-5KeV
　● 使用气体:   多种
　● 工作原理:   提取种类
　● 应用:   清洁样品
　　　　　植入

性能
　● 光斑尺寸:   5mm-30mm 的工作距离

安装
　● 插入深度:   62.5mm; 120mm; 190mm; 250mm
　● 安装法兰:   DN35CF (2.75”)

电源
　● PU-IQE11 digital
　● IQE 11 A analog

该产品彩页链接
https://www.specs-group.com/fileadmin/user_upload/products/brochures/IQE11_2009.pdf

该产品官网链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/iqe-1135/