产品介绍
　　IQP 10/63是一种可靠的离子源，离子电流高达50μa，离子能量可调范围为0-6kev，束流平坦，溅射面积大。适用于反应性气体，并可提供完整的进气系统。

主要特点
　● 潘宁型冷阴极
　● 高离子电流
　● 平坦式射束截面
　● 大溅射区域
　● 适用于活性气体

该产品官网链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/iqp-1063/