IQE 12/38
发布日期: 2020-03-22 浏览次数:
产品介绍
在离子源IQE 12/38的电离器体积和聚焦级之间设置有Wien质量过滤器。它通过电场和磁场的结合来选择确定的离子并抑制杂质和中性粒子。它有能力消除不想要的同位素、杂质离子、带电团簇以及中性粒子和团簇的光轴倾斜的离子。标准配置为4800高斯磁体,可提供1000高斯磁体用于H和He气体。适用于离子散射光谱ISS、SIMS和SNMS分析。
主要特点
● 高分散性
● 空档停止
● 全质量范围小于等于1μm的可选磁铁
● 像散校正和光束调整
技术规格
● 离子电流: 在125 μm 点 >0.8 μA (氩气)
● 离子能量: 200eV-5KeV
● 使用气体: 多种
● 可否扫描: 可以
● 工作原理: 提取种类
● 应用:
◆ 深度剖面
◆ 样品清洗
◆ 植入
◆ ISS/LEIS
◆ SIMS/SNMS
● 必要的配件
◆ 进气系统
● 可选择配件:
◆ Wien质量过滤器
◆ Piezo进气系统
◆ 差动泵系统
◆ 深度剖面的远程控制
性能
● 扫描范围: 在23 mm的工作距离10 x 10 mm2
● 光斑大小: 在23 mm的工作距离 125 μm
安装
● 插入深度: 186mm
● 安装法兰: DN38CF (2.75”)
● 电源: PU-IQE12/38
PS-WF
该产品官网链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/iqe-1238-wien-filter/