产品介绍
　　PCS-RF-AN，氧气或其他氧化性气体的原子等离子体源，采用与UHV完全兼容的组件，适用于最苛刻的MBE应用和表面改性，适用于各种真空级别（UHV至HV）。射频电源产生13.56 MHz的射频电流，并将其馈入环绕源中等离子体管的射频线圈。相应的RF场感应耦合到等离子体管中，等离子体由等离子体放电管内部的气体分子产生。高RF功率导致等离子体中非常高的功率密度，因此可能达到最高的裂化效率。专门设计的孔径可抑制离子从等离子体中释放出来，同时允许中性氮原子流出。从源发出的粒子已被大大地热化（<1 eV），因此，该等离子体源适用于敏感样品。以非常低的动能产生的原子允许它们用于敏感的表面处理或材料生长，其中较高能的粒子可能会植入表面或以其他方式干扰生长/处理层的结晶度。通过裂解稳定的分子氮气产生的原子具有很高的化学活性，可以使分子形式不可能的许多化学过程实现，例如用氮掺杂硒化锌和再次用氮生长GaN。

　　该源可完全烘烤，并从全长的水套中获得出色的冷却效果。使用其他组用户可更换的抽取栅格或孔板，可以轻松地重新配置源以减少气体，或者将其配置为原子源，下游等离子体源或混合源。

特点
　● 无灯丝设计允许与反应性气体的操作
　● 适用于氧气、氮气、氢气
　● 低损伤表面处理和样品生长
　● 气体裂解效率高
　● 操作压力低
　● 低动能（<1 eV）适用于敏感表面处理
　● 氮化硼放电管
　● 氮化硼孔径
　● 适用于这些方法

用途
　● 用于最苛刻的MBE应用的氮气或还原氮气的射频原子等离子裂化器源
　● 用于最苛刻的MBE应用的氧气气或还原氧气的射频原子等离子裂化器源
　● 用于最苛刻的MBE应用的氢气或还原氢气的射频原子等离子裂化器源
　● 氮：氮化（GaN，AlN，InN和SiN），
　● 掺杂（ZnSe）和合金化（GalnNAs，GaAlAsN）
　● 氧气：HTc超导体，光学涂料，
　● 电介质，反应溅射，激光烧蚀
　● 和陶瓷生长（Al2O3）氧气清洗
　● 和氧化动力学，生长后氧化/
　● 低温SiO2
　● 氢：清洁，促进生长/表面活性剂
　● 氯：原位蚀刻
　● 甲烷（碳）：SiC膜生长

技术规格

工作原理	Working Principle	Radio frequency plasma source
适用气体	Gas	O2、N2、H2
安装法兰	Mounting flange	NW63CF
烘烤温度	Bakeable	200℃
功率	Power	500W
射频频率	RF Frequency	13.56 MHz
可选配件	Optional Accessories	Integrated shutter Autotuning unit Viewport: Provides a direct view of the plasma from the rear Differential pumping: Extends the operational range of working pressures into the 10-7 and 10-8 mbar range Plasma monitor: Provides a readout of the plasma intensity Plasma controller: Stabilises the plasma brightness Ion trap: Deflects residual ion current out of the beam
真空内长度	In vacuum length	300mm
束流直径	Beam diameter	23mm at source
束流率	Gas flow rate	1 sccm
工作距离	Working distance	50mm-300 mm

官网链接以及官网样品资料链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-rf-an/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-rf-ao/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-rf-hn/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-rf-ho/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-rf-in/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-rf-io/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-rf-ps-300600mtat/

https://www.specs-group.com/fileadmin/user_upload/products/brochures/PCS-RF.pdf