SPECS 产品
等离子源Plasma Source首页 > SPECS 产品 > 等离子源Plasma Source > PCS-ECR—微波等离子源
PCS-ECR—微波等离子源
发布日期: 2020-03-22  浏览次数:  
\

产品介绍
  用于氮气或氮气的微波原子等离子体源PCS-ECR-AN是与UHV完全兼容的组件,适用于最苛刻的MBE应用和表面改性,适用于各种真空等级(UHV至HV)。微波磁控管产生频率为2.45 GHz的微波,并耦合到等离子体室中,在等离子体室中激发等离子体并吸收微波。磁控管回旋共振效应增强了等离子体密度,磁控管回旋共振效应由围绕等离子体室布置的86 mT磁性四极杆提供。电子会经历电子回旋共振(ECR)运动,从而极大地增加了电子路径的长度,从而增加了与其他分子碰撞和随后电离的可能性。专门设计的孔径可抑制离子从等离子体中释放出来,同时允许中性氮原子流出。从源发出的粒子已被大大地热化(<1 eV),因此,该等离子体源适用于敏感样品。

  该气源完全可烘烤,配有全焊接不锈钢真空外壳,并通过全长水套进行出色的冷却。通过用户可更换的额外孔和抽气格栅,可以轻松地对气源进行重新配置,以氧化气体,作为下层等离子体源或专用原子或离子源。

特点
 ● 无丝设计允许使用反应性气体进行操作。
 ● 无需微波调谐
 ● 独特的集成快门和电流监控器选件。
 ● 琐碎的烘烤准备〜1分钟
 ● 一体式水冷套

用途
 ● 适用于最苛刻的MBE应用的氮气或还原氮气的微波原子等离子体裂解器
 ● 适用于最苛刻的MBE应用的氧气或还原氧气的微波原子等离子体裂解器

技术规格

工作原理

Working Principle

Microwave assisted plasma source

最大功率

Max. Power

250 W max. at 2.45 GHz

气流率

Gas Flow Rate

< 0.1 sccm to 100 sccm (mode dependant)

工作模式

Operating Modes

Atom mode

工作压力

Operating Pressure

< 10-7 - 10-5 mbar

可选配件

Optional Accessories

Integrated shutter
Non standard lengths
Various aperture types
Differential pumping
Faraday cup: Provides the possibility to monitor the beam current
Ion trap: Deflects residual ion current out of the beam<

安装法兰

Mounting Flange

NW63CF (4.5 ")

真空内长度

Insertion Depth

300 mm

源尺寸

Spot Size

~25 mm at source


官网链接以及官网样品资料链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-an/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-ao/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-hn/

https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-ho/

版权所有:贝克斯帝尔科技(北京)有限公司 京ICP备20000437号-1
北京市朝阳区工人体育场北路4号院39号楼418A室
电话:8610-65010355    E-mail:sales@specs-tii.com.cn