PCS-ECR—微波等离子源
发布日期: 2020-03-22 浏览次数:
产品介绍
用于氮气或氮气的微波原子等离子体源PCS-ECR-AN是与UHV完全兼容的组件,适用于最苛刻的MBE应用和表面改性,适用于各种真空等级(UHV至HV)。微波磁控管产生频率为2.45 GHz的微波,并耦合到等离子体室中,在等离子体室中激发等离子体并吸收微波。磁控管回旋共振效应增强了等离子体密度,磁控管回旋共振效应由围绕等离子体室布置的86 mT磁性四极杆提供。电子会经历电子回旋共振(ECR)运动,从而极大地增加了电子路径的长度,从而增加了与其他分子碰撞和随后电离的可能性。专门设计的孔径可抑制离子从等离子体中释放出来,同时允许中性氮原子流出。从源发出的粒子已被大大地热化(<1 eV),因此,该等离子体源适用于敏感样品。
该气源完全可烘烤,配有全焊接不锈钢真空外壳,并通过全长水套进行出色的冷却。通过用户可更换的额外孔和抽气格栅,可以轻松地对气源进行重新配置,以氧化气体,作为下层等离子体源或专用原子或离子源。
特点
● 无丝设计允许使用反应性气体进行操作。
● 无需微波调谐
● 独特的集成快门和电流监控器选件。
● 琐碎的烘烤准备〜1分钟
● 一体式水冷套
用途
● 适用于最苛刻的MBE应用的氮气或还原氮气的微波原子等离子体裂解器
● 适用于最苛刻的MBE应用的氧气或还原氧气的微波原子等离子体裂解器
技术规格
工作原理
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Working Principle
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Microwave assisted plasma source
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最大功率
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Max. Power
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250 W max. at 2.45 GHz
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气流率
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Gas Flow Rate
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< 0.1 sccm to 100 sccm (mode dependant)
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工作模式
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Operating Modes
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Atom mode
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工作压力
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Operating Pressure
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< 10-7 - 10-5 mbar
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可选配件
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Optional Accessories
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Integrated shutter
Non standard lengths
Various aperture types
Differential pumping
Faraday cup: Provides the possibility to monitor the beam current
Ion trap: Deflects residual ion current out of the beam<
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安装法兰
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Mounting Flange
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NW63CF (4.5 ")
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真空内长度
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Insertion Depth
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300 mm
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源尺寸
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Spot Size
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~25 mm at source
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官网链接以及官网样品资料链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-an/
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-ao/
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-hn/
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/pcs-ecr-ho/