TGC-H—用于生产高反应性氢原子的热裂解气源 - 等离子源Plasma Source

等离子源Plasma Source首页 > SPECS 产品 > 等离子源Plasma Source > TGC-H—用于生产高反应性氢原子的热裂解气源

TGC-H—用于生产高反应性氢原子的热裂解气源

发布日期: 2020-03-22　　浏览次数：　　

产品介绍
　　SPECS TGC-H是一种完全超高压兼容的热气裂解气源，它利用钨丝的电子轰击加热来热分解通过它的气体。氢气分子通过高温而不是等离子体裂解而热解离。裂化效率取决于氢分子解离成原子的平衡热力学。对于1400°C或更高的毛细管温度以及低于10-8 mbar的压力，这几乎是100％。毛细管的小尺寸和热质量意味着在系统中的热负荷可忽略不计的情况下，所需功率很小。灯丝本身易于更换。此外，在UHV中运行无需差分泵，并且由于毛细管电接地，实现了零离子发射。这种小型且易于使用的离子源非常适合于氢气清洗和表面处理，即使预算很少。

特点
　● 低工作压力
　● 100％的裂解效率
　● 低光束发散
　● 适用于无损原位清洁，化学钝化和表面重建

用途
　● 用于生产高反应性氢原子的热裂解气源
　● 适用于无损原位清洁，化学钝化和表面重建

技术规格

工作原理	Working Principle	Thermal gas cracker source
最大功率	Max. Power	60 W max. at 2.45 GHz
气流率	Gas Flow Rate	< 10-5 sccm to 1 sccm (mode dependant)
工作模式	Operating Modes	Atom mode
工作压力	Operating Pressure	< 10-7 - 10-5 mbar
可选配件	Optional Accessories	Integrated shutter Shutter motorisation Optical viewport: direct view of the cracking zone Thermocouple (Type C) PID controller: for the thermocouple option
安装法兰	Mounting Flange	NW35 CF (2.75 ")
真空内长度	Insertion Depth	200 mm
源尺寸	Spot Size	~34 mm at source

官网链接以及官网样品资料链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/tgc-h/