产品介绍
　　SPECS XPS系统旨在执行XPS微区分析，X射线源通常使用µ-FOCUS 500或600，罗兰圆直径500或600毫米,可变光斑大小从200µm至几百微米,功率范围从10 W到150 W标准配置为单铝阳极。

特点
　● 灵活、模块化的表面分析系统设计
　● 优化以获得最佳的分析性能
　● 多方法系统能力(可与UPS、AES、ISS相结合)
　● 简单和经济有效的升级选项

用途
　　进行样品表面处理以及成分分析

技术规格
系统主要包括以下几个方面:
　● 分析室(不锈钢或µ-metal)
　● PHOIBOS分析仪(100或150)，带有1D或2D检测器
　● 样品架，可以达到5轴移动，附带加热、冷却
　● 小束斑X射线源(束斑最小可达200 um)
　● 循环水冷系统
　● 快速进样室，可装样品储存和样品加热
　● 可增加样品制备或反应室等扩展功能
　● 真空泵系统
　● 烘烤系统
　● 数据采集，数据分析，远程控制

官网链接以及官网样品资料链接
https://www.specs-group.com/nc/specs/products/detail/small-spot-xps-system/